
Масс-спектрометр для анализа твердофазных образцов «Lumas SOLID»
Lumas SOLID – масс-спектрометр, предназначенный для прямого анализа твердофазных материалов. Он позволяет проводить элементный и изотопный анализ образцов, в том числе профилирование по глубине (послойный анализ).
Lumas SOLID – универсальный прибор для решения задач современного материаловедения.
- Прямой анализ твердофазных образцов без растворения
- Монолитные и порошковые пробы
- Определение любых химических элементов (в т.ч. F, O, N, Cl, U, Th, РЗЭ)
- Одновременное определение микропримесей и основных компонентов
- Элементный и изотопный анализ
- Профилирование по глубине
- Низкие пределы обнаружения
- Отсутствие перегрева пробы
- Научные исследования
- Материаловедение
- Металлургия
- Геология
- Атомная промышленность
- Производство полупроводников, микроэлектроника
- Экология

Распыление и ионизация пробы происходят в плазме импульсного тлеющего разряда, затем ионы регистрируются в ортогональном времяпролетном масс-анализаторе. Основным механзмом ионизации атомов пробы является неселективная Пеннинговская ионизация метастабильными атомами разрядного газа (обычно Ar). В качестве разрядной ячейки используется комбинированный полый катод – вспомогательный цилиндрический катод из высокочистого металла (обычно Al или Ta) и прижимаемая к нему проба.
Такая конструкция позволяет анализировать плоские (монолитные или прессованные порошковые) пробы без каких-либо требований к их вакуумной плотности.
Отсутствует процедура растворения пробы.

- Контроль микропримесей в сверхчистых материалах (металлы, сплавы, полупроводники, оптические кристаллы)
- Анализ геологических объектов (руда, почва)
- Определение относительного содержания элементов (U/Th, РЗЭ)
- Изотопный анализ
- Послойный анализ
- Контроль качества многослойных покрытий и тонких пленок
- Контроль пространственного распределения примесей
- Исследование процессов коррозии
- Гарантийное и послегарантийное обслуживание на всей территории РФ и стран ЕАЭС
- Проведение пусконаладочных работ и обучение оператора
- Консультационное сопровождение оборудования и методик
- Разработка и аттестация методик по специальному заказу
- Гарантия 1 год
Способ ионизации | Плазма импульсного тлеющего разряда |
Разрядный газ | Аргон, расход менее 1 л/час |
Масс-анализатор | Времяпролетный с бессеточным ионным зеркалом |
Разрешающая способность | 4000 |
Количество одновременно определяемых компонентов | Не ограничено |
Массовый диапазон | 1–1000 m/z |
Пределы обнаружения | 1–100 ppb |
Послойное разрешение | До 5 нм |
Глубина анализа | До 30 мкм |
Время на один анализ твердого образца | 30 минут (с опцией револьверной системы – 3-5 мин) |
Вакуумная система | 1 Форнасос и 2 ТМН (240 л/сек) |
Габаритные размеры | 1450×780×1550 мм |